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纳米硅薄膜的镜反射红外光谱研究
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使用X-荧光能谱仪进行多层薄膜厚度测量技术在半导体材料镀层分析上广泛使用。但是纳米级薄膜测量技术仍然是测量技术的难点。本文详细介绍了使用QuanX 荧光能谱仪进行这种分析的全过程
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EM12 精致型多入射角激光椭偏仪
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