麦克风、微扬声器、超声器件 [4] 光学器件:微机械光开关、滤波器、压电执行器 [5] 能源器件:微型燃料电池、微型三维超级电容、微型能量收集器 [6] 微纳制造技术:表面微加工技术,体微加工技术,干法和湿法深刻蚀技术,双面光刻,厚胶光刻,键合,电镀等 (2) 微流体与生物医学微系统BioMEMS
北京市
中国有色金属行业重点实验室,该实验室是依托于中南大学有色金属冶金国家重点学科的一个集人才培养、科学研究、工程转化于一体的综合性研究机构。 本实验室的前身为张启修教授于1974年创建的萃取学科组。20世纪八十年代初期,鉴于湿法冶金
湖南省
科学和技术发展的重要基地,目前中心已具备良好的基础设施条件和硬件设备。实验室总面积近800平米,分办公区、样品准备区、微加工区、光电测试区。实验室具备局部百级,总体千级的恒温恒湿超净环境,可以保证各种微纳器件的加工制作,包含电子束刻蚀、紫外
“985工程”的支持下,由北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室具体承建,2008年初投入使用。超净使用面积约400平方米,配备光刻、镀膜、刻蚀以及光、电测量等基本微纳加工和测量必需公用设备,为各院系相关科研工作顺利开展、进一步提高科学研究水平,为北大相关的研究人员争取国家项目创造条件。
等。中心现有80多台各种微机电工艺设备,如AMS 200深硅等离子体刻蚀系统、ICP-2B刻蚀机、AWB04键合机、MA6/BA6 Karlsuss双面光刻机和键合机、POLI-400化学机械抛光机、WL2040铝丝压焊机、OPTI
福建省微纳米 纳米
委员会、中国有色金属学会冶金物理化学学术委员会、中国稀土学会化学与湿法冶金专业委员会委员以及中国稀土学会《稀土》杂志编委等社会职务。 服务内容 精细陶瓷实验室于1987年6月成立,该室
的同时,中心还为核工业系统培养了大批科研人才。为我国核工业化学计量、铀湿法冶金事业、化工冶金技术及分析测试技术的发展作出了重大的贡献。 核工业北京化工冶金研究院分析测试中心现有中国合格评定国家认可委员会和国防科技工业实验室认可
北京市元素与成分分析 物相组成与结构分析
扩散炉,匀胶台,热板,曝光机,湿法腐蚀台,磁控射频溅射台,ICP,PECVD,MBE,MOCVD,真空蒸发台,精密电铸机,等离子去胶机,静电键合机,引线键合机,塑料微流控芯片自动成形与对准装配系统(热压机、键合机),半导体真空预处理器,快速
辽宁省
1、亚洲首座无噪声超精密加工与表征实验室:为新材料及半导体器件研发提供接近理想条件的实验室平台,从而能够实现超精密加工的极限精度和测量表征的极限分辨率; 2、微纳加工平台:具备从晶圆清洗、薄膜制备、刻蚀、光刻图形加工、微纳
福建省半导体材料 锂离子电池
大专院校唯一的5英寸深亚微米集成电路开发与工业性试验线,拥有包括外延、光刻、刻蚀、离子注入、氧化扩散、薄膜溅射及WAT测试等多台大型设备在内的深亚微米集成电路成套工艺设备,超净实验面积960平方米,是中国北方微电子研究开发基地的重要组成部分
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