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南京大学纳米压印技术与微纳器件实验室
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微纳器件与系统研究室
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
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北京大学信科学院微纳加工实验室(校级公共平台
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光电成像技术与系统教育部重点实验室
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固体润滑国家重点实验室
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嘉庚创新实验室公共支撑平台
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北京理工大学微纳技术中心
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中国科技大学国家同步辐射实验室
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固体器件与集成技术研究室
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复旦大学微纳加工与器件公共实验室
707 徐红涛 Email: xuhongtao@fudan.edu.cn 逸夫科技楼707 电 话:021-55664097(转)-电镜区/刻蚀区/沉积区/光刻区 地 址:上海市杨浦区邯郸路
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