副研究员)副研究员) 刘俊伯,博士,中科院光电技术研究所微电子装备总体实验室,副研究员,硕士生导师,主要从事中高节点投影光刻机相关核心技术研究。2017年入选西部之光人才计划,2020年入选中国科学院青年创新促进会,获创新基金计划资助...
中国科学院光电技术研究所副研究员)
、自动喷墨印刷设备、无水无氧手套箱、太阳光模拟器、Keithley 4200 SCS半导体特性综合测试系统、Lakeshore 8804A霍尔效应/电输运特性测试系统、ABM紫外光刻机等国际一流设备,建立了相关研究所需的薄膜制备及性能测试系统,具备良好的薄膜生长、光电性能研究及器件研制基础。...
郑州大学副教授
、涉及的基础理论知识有深入的了解。除基础科研以外,本课题组还积极与产业界开展合作,已承担了若干高技术公司的与光化学相关的研究项目。课题组购买了接触式掩膜对准曝光机( 光刻机 ,i-line),用于光敏剂以及相应的光刻胶(如光敏聚酰亚胺,即PSPI,等等)、光刻工艺等的研发。...
大连理工大学化工学院教授
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