曝光光刻机、纳米压印设备、电子束蒸发镀膜机、反应离子束刻蚀系统等先进的微加工设备,以及扫描电子显微镜、显微共聚焦光谱测试系统、低温强磁场光学近场显微系统、飞秒激光器、半导体参数测试系统等光学测试设备,可以完成微纳器件的光电性能的综合测试
北京市
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
等。中心现有80多台各种微机电工艺设备,如AMS 200深硅等离子体刻蚀系统、ICP-2B刻蚀机、AWB04键合机、MA6/BA6 Karlsuss双面光刻机和键合机、POLI-400化学机械抛光机、WL2040铝丝压焊机、OPTI
福建省微纳米 纳米
。 实验室共有70多台价值10万元人民币(或2万美元)以上的大型设备,包括卧式加工中心MAHO MC50 ,三座标测量机ZEISS CMM ,电子束光刻机,原子力显微镜,深干法刻蚀机,微米三维X射线成像系统,多靶材溅射系统,SUN4/60
陕西省
ICCD系统、致冷数码单色CCD、荧光显微镜、紫外可见分光光度计、荧光光谱仪、傅立叶变换红外光谱仪、超高速冷冻离心机、冻干机、电泳及成像系统、超低温冰箱、手套箱、高效液相色谱仪、光刻机、磁控溅射镀膜机等。生物 生物分析 纳米 纳米化学 纳米技术
湖南省生物 生物分析
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