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CAMECA全自动在线二次离子质谱仪AKONIS
用于半导体晶圆厂中成分测量的全自动 SIMSAKONIS SIMS 工具通过直接在半导体生产线中提供对注入分布、成分分析和界面数据的高产量、高精度检测,填补了半导体制造工艺中的重要空白
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吉时利参数测试系统
的五英寸探针卡库成熟的仪器技术可确保实验室和晶圆厂的高测量精度和可重复性提供SECS / GEM与300毫米晶圆厂的集成S535功能在多站点并行或串行操作中自动执行所有晶圆级DC参数测试。一次触地测试
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普发真空APA污染管理解决系统
室里进行疏散,吸附概率大幅度减少。晶圆厂可通过这种方式显著地增加产量,且各个工艺步骤之间的等待时间也会得到优化。APR 是如何工作的?FOUP 既可以手动传送,也可通过 2 个装载端口上的悬挂式起重
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贝克曼库尔特MET ONE HHPC 2+手持式空气颗粒计数器
手持式颗粒计数器常见应用领域包括:高科技制造行业半导体晶圆厂硬盘存储制造业平板显示设备LED(发光二极管)太阳能航天PCBA(印刷电路板装配)光学组件打印头制造高精密制造、MEMS(微电子
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Helios 5 EXL DualBeam双束扫描电镜
Helios 5 EXL DualBeam 能够位于半导体晶片晶圆厂中。通过更接近晶片工艺线(近线),可提供比基于实验室的裂解晶片分析快三倍的关键信息,从而加速新工艺的开发并实现大批量生产的良率提升
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贝克曼库尔特MET ONE HHPC 3+手持式空气颗粒计数器
行业半导体晶圆厂硬盘存储制造业平板显示设备LED(发光二极管)太阳能航天PCBA(印刷电路板装配)光学组件打印头制造高精密制造、MEMS(微电子机械系统)、MOEMS(微光电子机械系统)高科技制造应用
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