。 实验室共有70多台价值10万元人民币(或2万美元)以上的大型设备,包括卧式加工中心MAHO MC50 ,三座标测量机ZEISS CMM ,电子束光刻机,原子力显微镜,深干法刻蚀机,微米三维X射线成像系统,多靶材溅射系统,SUN4/60
陕西省
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